梁剑没有等上三天，第二天，两家公司都签了协议。梁剑终于说服选定的所有公司接受他的意见，很不容易。具体股份是这样商议的：

中为科技占26%，长投集团占25%，沪微电子占15%，中微电子占10%，科益虹源、国望光学股份、长春国科精密、路维光电、北方华创股份、华卓精科科技股份各占4%。

5月下旬，由中为科技发函，邀请所有加盟企业到鹏城，签订合作协议。

第三天，正式协议在中为科技总部签订。协议规定：

一、 十家公司正式加入“光刻机联盟”倡议，并成立“光刻联盟”公司。

二、 经商议，十家公司一致推举梁剑任公司董事长，姜妍任公司副董事长，叶海亚任公司总经理。

三、各入股伙伴按照所持股份缴纳公司股本，公司总股本为10亿元。公司第一期研发资本为1000亿，各入股伙伴按照所持股份缴纳研发资本。

四、各入股伙伴按照所持股份分红。

五、“光刻联盟”公司第一款5纳米EUV浸润式光刻机的研发周期设定为三年，及在2024年上半年面世。

……

签订协议之后，任老爷子亲自设宴款待大家，为“光刻联盟”公司的成立表示祝贺，为各位合作伙伴的到来表示慰问。