“他在方案中提到了一种名为等离子能量微投影系统的思路,这种方法能够降低对高精度光学元件的依赖。根据他的计算,我们的工业级激光系统经过一定改装后,可以在现有条件下模拟高精度投影效果……”
一开始,赵鸿德和李明岳等人仍然是一副不屑一顾的表情,但随着许云川的讲解逐渐深入,他们的表情开始变得微妙起来。
“等等,”陈国栋院士打断了许云川的话,皱着眉头说道。
“等离子能量微投影系统?这确实是一个新思路,如果他算得没错的话,这种替代方案理论上是有可能的。”
“再说说他提到的工业改装部分,”周晓峰院士推了推眼镜,神色变得认真起来。
“你是说,他用现有工业激光器替代高端光刻光源?这……他的分析模型里有这么高的精度吗?”
许云川点头,继续讲解方案中的内容,尤其是林奕对光刻机核心部件的简化设计,以及对工业激光设备的替代应用。
随着讲解的深入,几位院士的表情渐渐从轻视变成了震惊,甚至有人忍不住低声惊叹起来。
“这小子的脑子……怎么这么好使?”张志辉忍不住说道,“他一个本科生是怎么想到这些的?这些替代思路太巧妙了!”
“是啊,这种思路完全跳出了我们的常规框架,我还以为这只是一个学生的空想,没想到竟然有这么高的逻辑性和可行性。”李明岳点头,语气中透出几分佩服。
“如果这个方案真能实现,我们在光刻机技术上的进展马上就可以弯道超车了!这小子绝对是个天才!”陈国栋也忍不住赞叹道。
“许老师,我承认,刚才是我小瞧了这个学生的能力。如果这个方案真能付诸实践,那他确实有资格让我们重新认识他。”最后,连一开始最不看好的赵鸿德都忍不住点头。
“……这一步,按照他的思路,确实可以绕过高端光学设备的瓶颈,直接利用工业激光器进行替代。虽然精度略有损失,但完全可以通过后期的校准来补足。”许云川指着屏幕上的设计图,语气肯定地说道。
“最重要的是,这种技术是可以验证的!我们现有的实验室设备就能完成所有的测试。”
随着他的讲解,几位院士的表情逐渐从最初的怀疑,变成了目瞪口呆。
尤其是当许云川讲到方案的最后一步工业设备的简单改装时,赵鸿德一拍桌子,直接站了起来:“居然还可以这样!这思路……这小子的脑袋是怎么长的?”
“对啊!我们之前卡了那么久,居然从没想到还能这么做!简直是……天才的想法!”李明岳也忍不住站起来连连点头。
“这简直颠覆了我们对光刻机技术的理解!太巧妙了!”陈国栋更是瞪大了眼睛,一脸不敢置信地说道。
“许老师,这事儿不能拖了!我们现在就去找林奕,把他喊起来,让他亲自参与实验验证!”张志辉显然已经忍不住了,快步走到许云川身边。
“对!现在就去!这么好的方案,哪怕今晚不睡觉,我也要马上验证!”赵鸿德也附和道,眼中已经没有了最初的怀疑,取而代之的是迫不及待的兴奋。