接下来的日子，相对清闲，当然这是针对李元本人。</P>

地下实验室那些人根本就消停不了，他们的干劲十足，加班加点。</P>

一部分人，在研究单晶棒更大尺寸的制备工艺，带头人便是黄燕。</P>

一部分人，在研究光刻机和刻蚀机，这本就是李元的后期规划，计划明年才启动。</P>

龚师兄一刻也等不了，带着4个人开始了光刻机和刻蚀机的研究。</P>

最后一部分人，研究封装和测量技术，由艾老师和毕老师共同负责。</P>

本来专用芯片的研究，他希望龚师兄负责，可惜他对光刻机和刻蚀机更感兴趣。</P>

说起光刻机，其实光刻技术的诞生比芯片还早。</P>

1955年，贝尔实验室实现了在硅片上用光刻加工出电子元器件的方法。</P>

1958年tI公司的工程师在公司值班时，突发奇想：为什么不将所有的电子器件都用同一种半导体材料来制造呢？</P>

这样就可以将它们集中在一块小小的半导体芯片上，并相互连接，做出极小的微型电路。</P>

虽然只是一个想法，tI公司还是快速申请了芯片专利。</P>

1961年，GcA公司造出了第一台重复曝光光刻机，覆膜式，可定位到1微米的精度。</P>

它如同女人做面膜一样，直接把图形覆盖在氧化膜上。</P>

但是缺点非常明显，掩膜是一次性，而且还会污染晶圆。</P>

李元的设想直接选择后世的投影式光刻机。</P>

在掩膜和硅片之间加了两个有凹面的球形透镜，一个球形透镜造成的图案畸变可由另一个球形透镜纠正回来。</P>

这样就既避免了掩膜和硅片的接触，又实现了缩印的效果。</P>

早期的光刻机光源是可见光，李元根据技能书的提示，选择当前可以实现的技术，高压汞灯产生的紫外光。</P>

如果做成，这将是真正意义上的光刻机，更是后世大量使用的dUV光刻机的前身。</P>

至于EUV，他也只是听到过一个名字，技能书里没有提及。</P>

如何显影，李元也给出了解决方案，就是让他们研究现在的照相显影技术。</P>

在和龚师兄讨论显影时，李元突然想到了一个新的项目，那就是就是电路板制造。</P>

这个有着长久的应用历史，维修厂可以靠此一直活下去。</P>

现在的电器，还没有电路板，都是直接用铜线焊接相连。</P>

对于电子管电器，比如收音机，如此操作，没有任何影响。</P>

比如当前最新的魔都160A收音机，便是如此直接焊接连线。</P>

但是这种工艺，对于将来的晶体管器件是非常不友好的。</P>

电路板的制作工艺，其实和光刻机有着异曲同工之妙。</P>

所以，李元强制龚师兄他们小组，先研究电路板制作技术。</P>

安排好一切，李元过上了悠闲的日子。</P>

偶尔去撩拨一番未来的老婆杨婷小姑娘。</P>

或是待在门房，和宋叔一起喝酒。</P>

晚上回到家中，开始挖掘地下室。</P>

为了安全，李元先是向下挖掘了一个5米的竖井，然后才开始地下室的挖掘。</P>

方案是一个和东厢房外形雷同的梯形窑洞，好比埃及的金字塔。</P>

空间的实木架子被拆解，作为梯形斜面的支撑。</P>

有着空间帮助，这一步非常快速。</P>

只用了两天，就完成梯形空间的挖掘。</P>